文 | 半导体产业纵横开云体育(中国)官方网站，作家 |九林

1984年4月1日愚东谈主节这一天，和跟荷兰的一家小公司合股，成了一家新公司。新公司的缩写叫ALS，跟渐冻症的缩写是同样的。一直到1996年，这家公司更名叫ASML。

也等于面前，大名鼎鼎的ASML。

本年，ASML的High NA EUV光刻机成为设置新晋“顶流”。其数值孔径（NA）从之前法度 EUV 光刻机的 0.33 提高到了 0.55 ，镜头的分辨率从之前的13 nm提高到了 8 nm，约略终了2nm以下先进制程大限度量产。、台积电、三星哪怕糜费巨资也要拿下。

ASML光刻巨头的买卖申明鹊起，本年ASML又卖了若干台光刻机？

01 ASML有哪些光刻机？

想要知谈ASML究竟卖了若干光刻机，首先要浅薄了解一下这个光刻巨头到底造了哪些类型的光刻设置。

ASML的成长史，不错说是光刻机迭代史。

PAS 2000、PAS 2500的起步阶段

咱们回到首先的1984年，重生的ASML呱呱堕地。那时ASML的居品只好16台飞利浦四肢库存的PAS 2000。但这款光刻机接收油压传动台，有着宏大的过错，莫得客户看得上。

在发现了PAS 2000问题后，ASML决定开拓新一代接收电动晶圆台的光刻机，型号PAS 2500。1986年推出十分棒的第二代居品PAS 2500，并第一次卖给好意思国那时的创业公司赛普拉斯（Cypress）。

1988年，飞利浦将MEGA分娩线搬到了台积电，恶果突发一场失火。于是台积电想ASML采购了17台PAS 2500，成为了ASML的最大客户。恰是因为这些订单，AMSL终于运行盈利了。

PAS 5500，一战成名

PAS 5500是ASML的成名之战，1991年发布，约略终了扫描式光刻。这时候IBM文书将成为第一家在8英寸晶圆上制造芯片的公司。PAS 5500通过了IBM的产业考证，终明显小批量录用。

PAS 5500按照模块化想象，客户不错把柄不同工艺减弱选配不同部件包，包括：55/100/200B/250C/300B/400D/700B/750E/850C等等等，涵盖了各式光源（i线和KrF），各式尺寸（4-12英寸），各式镜头（i线和KrF镜头），各式投影花式（stepper/scanner）。

这就使得一台设置约略终了百花皆放。

PAS 5500的战绩不啻于IBM，装机第一台PAS 5500后分娩出了250nm工艺的16Mb存储器。SK 海力士在1996年装机后，1998年顺利成为了AMSL的最大客户。

TWINSCAN 和浸没式期间

时刻来到了1990年代末，光刻机的波长也从248nm进入到193nm，这等于驰名的ArF准分子激光器。

产业在193nm波长上卡了近20年。干式193nm光刻机的极限工艺是65nm，再往下就很难终明显。产业内暴戾了各式高出193nm的有谋略，相对而言157nm期间难度稍低。这时候，AMSL收购了好意思国光刻机厂商AVG，储备了157nm和EUV光刻机。

直到2002年，在157nm期间接洽会上，台积电的林本坚暴戾了浸没光刻期间，找到了134nm波长，一石激起千层浪。

天然浸入式光刻机的构念念十分玄妙，但从工程角度看，它并不难完成。ASML很快就按照想象制造出了134纳米波长光源的浸入式光刻机，TWINSCAN AT:1150i 。

2006年ASML推出了第一台批量分娩的浸入式机器 XT:1700i。2008年又推出了TWINSCAN NXT:1950i可用于32纳米芯片的量产，并赶快股东ASML开拓出一系列用于亚32纳米制程节点的光刻系统，包括NXT:1960i、NXT:1965i、NXT:1970i等。

更正期间的EUV

为了牢固地位，AMSL在开拓浸入式光刻机的同期，就还是向极紫外光源发起挑战。它摸索出了一种新的EUV产生递次：用激光轰击锡珠，让其化为等离子态，从而产生EUV。基于这个递次，ASML于2010年推出了第一台EUV样机。

不外，将样机变为不错销售的商品还需要好多参预，预期的参预可能达到每年10亿欧元，以ASML的财力并莫得才智独自完成这一切。为了科罚这个问题，它邀请了英特尔、三星和台积电入股共同研发。终于，在2013年，量产的EUV光刻机NEX:3300B面世了——也就在这一年，温宁克和范登布林克接过了公司的指挥权。

之后，AMSL于2017年推出了TWINSCANNXE:3400B，将光刻机的制程（即最小的电路栅格间距离）从7纳米推到了5纳米。2020岁首，AMSL发货了第100台EUV光刻机。

再到2023年，再次推出了High NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5000。从AMSL的路子图来看，在2025年还要推出将新一代High-NA EUV系统EXE:5200。

02 ASML卖了若干光刻机？

笔者翻阅ASML财报，整理了其自2012年运行的出货数据。ASML出货与其束缚成长的光刻经由息息关系。

DUV光刻机，出货量的主力军

ASML 2012-2023光刻机出货量（傍边滑动稽查一齐列表）

淌若按照光源类型分散，不仅有EUV光刻机，还有ArF浸入式光刻机、ArF干式光刻机、KrF光刻机、i-line设置等。其中，ArF、ArF和KrF都属于深紫外线光刻机(DUV)，这亦然现时半导体制造的主力。从2012年到2023年，ASML出货量2235台DUV光刻机。

从2012年的出货量来看，ArFi和KrF等深紫外线光刻机(DUV)出货量远超EUV光刻机。毕竟，如前文锁述，约略量产的EUV亦然在2013年才认真亮相。从上图来看，ArFi出货数目一直保抓在70-80台傍边，但2023年出现了暴涨，顺利出货125台。KrF出货量原先也一直保管在70傍边，但从2020年运行每年增长近30台傍边。

2020、2023这两个时刻节点寰宇都不生分。在2023年末，荷兰和好意思国最新颁布的出口管理礼貌还是顺利。那时阿斯麦首席财务官Roger Dassen暗意：“2024年咱们将不会得到向中国发运NXT:2000i及以上浸润式设置的出口许可证，此外，个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法得到发运NXT:1970i和NXT:1980i浸润式设置的许可证。”

2023年，ASML卖了449台光刻机，其中有53台是EUV光刻机，396台是DUV光刻机。2023年DUV光刻机的出货量，很大一部分来自于中国市集。

EUV光刻机，转折点在2022

ASML 2012-2023 光刻机净销售额（单元：亿欧元）

从2012年-2023年，AMSL一共出货了233台EUV光刻机。百位数的EUV光刻机的出货量对比千位数的DUV光刻机。不错说，出货数目少的恻隐，但架不住EUV上流的价钱。ASML 面前在售的双工件台 EUV 光刻机单价约 1.2 亿好意思元至 1.5 亿好意思元傍边。而其新一代高 NA EUV 光刻机造价更是高达 3 亿至 3.5 亿欧元（约合东谈主民币 21.95 亿至 25.61 亿元）。

从上图来看，自2019年运行，ASML的EUV光刻机销售额出现了较大的增长，而自2020年销售额达到44亿欧元后，顺利跳动了畴昔的ArFi光刻机的销售额（40亿欧元）。从此之后，EUV光刻机的销售额就一骑绝尘。即使2023年，ArFi光刻机出货数目爆增到125台，卖出的价钱也只好86亿欧元。EUV光刻机的总销售额还跳动其5个亿欧元。

地区营收，谁购买了最多的光刻机？

ASML 地区出货销售额（单元：亿欧元）（傍边滑动稽查一齐列表）

2012年运行，韩国、中国台湾地区、好意思国关于ASML光刻机的购买力是比较强的。那时中国大陆被列为亚洲其他地区，进而臆想销售额。自2015年后，由于中国大陆购买金额增长，被ASML财报再单拎出来，以上2015年后的亚洲其他地区数据骨子为中国大陆的数据。

上图中，中国台湾地区关于光刻机的购买需求恒久繁华，基本是占了大头。但也不难相接，台积电作为全球第一的晶圆大厂，其老本开销一直是顶尖的。不错看到，从2019年到2020年，ASML对中国台湾的销售额有彰着高潮。对比那时的历史来看，这个是节点台积电正运行量产7nm+制程（也等于EUV 版的 7nm），因此销售金额增长不及为奇。

韩国的光刻机购买金额，从2018年到2019年有一个宏大的下滑，但需要肃肃的是，其2017年、2018年的金额达到30亿欧元，相较之前15亿欧元翻了一倍。2019年恰是上一个

中国大陆地区关于光刻机的购买金额一直保管在20亿欧元傍边，但2023年暴涨了61亿欧元，再次印证了前文所述，大陆只可在禁令下来前，现行购买部分光刻机。

03 2024年，ASML又卖了若干台光刻机？

看结束ASML前十二年的追忆，咱们来仔细望望，在禁令履行的第一年，ASML卖的奈何吧。

从地区来看，日本第一季度莫得购买、欧洲第三季度也莫得购买。值得肃肃的是，韩国脉年依旧花了近30亿欧元购买光刻机，但底本一直占销售大头的中国台湾刚刚花了16亿欧元。同期，大陆的购买力也十分强，比拟昨年全年的61亿欧元，本年才三个季度，还是在ASML这里购买了70亿欧元的设置了。淌若大陆Q4雄厚按照20亿欧元的购买力度，那本年中国大陆的销售额会再转换高，甚而达到90亿欧元。

在ASML公布2023年全年财报时，也对2024年的功绩作念出了展望。合计 2024 年的净销售额将与2023年基本抓平，而ASML 2023全年净销售额是276亿欧元。按照276亿欧元臆想，本年中国市集将占ASML功绩的三分之一。