中商谍报网讯：光刻机是半导体制造过程中的要害开荒。跟着半导体产业在电动汽车、风物储、东谈主工智能等新需求的推动下抓续发展开云体育(中国)官方网站，光刻机出路浩繁。

一、光刻机的界说及分类

光刻机，又称光刻瞄准曝光机、掩模瞄准曝光机、曝光系统或光刻系统等，是光刻工艺乃至通盘这个词芯片制造过程中的中枢开荒。光刻机不错凭据不同的分类程序辞别为多种类型，以下是一些常见的分类方式：

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二、光刻机行业发展战术

光刻机是芯片制造历程中弗成或缺的中枢开荒。比年来，国度层面出台了一系列端正和产业战术，推动国产替代程度，通过战术并吞、资金扶抓等方式，并吞饱读动国内光刻机企业加大研发力度和干预。

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三、光刻机行业发展近况

1、光刻机占比

光刻机大约将芯片图案投影到硅片上，结束渺小结构的制造。现在，光刻机是半导体开荒中市集占比最大的产物，市集占比达24%。

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2、光刻机巨匠市集领域

比年来，在滥用电子需求相对低迷的情况下，电动汽车、风物储、东谈主工智能等新需求成为半导体产业成长的新动能，巨匠光刻机市集领域巩固增长。凭据SEMI公布的数据，2022年巨匠半导体开荒市集领域为1076.5亿好意思元，其中光刻机市集占比约为24%，领域达到约258.4亿好意思元，2023年约为271.3亿好意思元。中商产业连络院分析师猜测，2024年巨匠光刻机市集领域将增至315亿好意思元。

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3、光刻机销量结构

现在，巨匠光刻机销量仍以中低端产物(KrF、i-Line)为主，占比分别为37.9%和33.6%；其次分别为ArFi、ArFdry、EUV，占比分别为15.4%、5.8%及7.3%。其中，EUV是巨匠光刻机的蹙迫发展目的之一，其价钱远高于其他种类的光刻机。

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4、光刻机竞争情势

光刻机市集呈现寡头把持情势，前三供应商（荷兰阿斯麦、日本佳能、日本尼康）占据绝大大王人市集份额，其中，ASML市集份额占比82.1%，Canon市集份额占比10.2%，Nikon市集份额占比7.7%。国内企业中，上海微电子是现在中国第一家亦然惟逐一家光刻机巨头，具备90nm及以下的芯片制造才智。凭据公开数据，上海微电子光刻机出货量此前已占到国内市集份额跨越80%。

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四、光刻机行业要点企业

1、上海微电子

上海微电子诞生于2002年，是中国率先的光刻开荒制造商。上海微电子的光刻机产物涵盖了从几微米到28纳米的多种时候节点，平日足下于集成电路、分立器件、LED等半导体领域的制造。

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上海微电子光刻机具备高精度、高恶果、高速率、油滑耗等时候特色。

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2、芯碁微装

芯碁微装从事以微纳直写光刻为时候中枢的顺利成像开荒及直写光刻开荒的研发、制造、销售以及相应的维保办事。芯碁微装在直写光刻开荒领域推出了多个产物系列，如MAS系列、RTR系列、NEX系列、FAST系列、DILINE系列等，继续进行性能升级与下流足下的拓展。芯碁微装在直写光刻开荒领域领相关键中枢时候，其直写光刻开荒可足下在IC、MEMS、生物芯片、分建功率器件、IC掩膜版制造、先进封装、暴露光刻等边幅。

2023年芯碁微装商业收入达到8.29亿元，同比增长27.07%，归母净利润高达1.79亿元，同比增长31.28%。

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PCB开荒领域，芯碁微装在2023年结束5.9亿元营收，占比总营收71.16%，逆势增长11.94%，毛利率为35.38%。泛半导体业务方面，芯碁微装相似发达出色，营收达到1.88亿元，占比总营收的22.71%，同比大幅增长96.91%，毛利率则为57.62%。

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3、华卓精科

华卓精科主商业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及要害部件等繁衍产物的研发、分娩以及销售和时候办事。公司在光刻机双工件台时候方面得回了蹙迫突破，并顺利研制放洋产光刻机双责任台系统，冲破了外洋在这一领域的时候把持。

华卓精科的光刻机双工件台是其中枢产物之一，具有高速通顺、高精度定位和高踏实性等特色。公司推出了DWS和DWSi两种系列的双工件台，分别适用于干式步进式扫描光刻机和浸没式光刻机。

4、富家激光

富家激光在光刻机领域领有自主研发的中枢时候，其光刻机神志分辨率在3~5微米，主要聚焦分立器件和LED领域的足下。富家激光的光刻机产物线相对丰富，包括不同型号和规格的光刻机开荒，以雕悍不同客户的需求。富家激光的光刻机主要足下于分立器件、LED等领域，市集定位较为明确。同期，公司也在积极探索和拓展其他领域的足下，如半导体封装等。

2023年富家激光结束商业总收入140.9亿元，同比着落5.82%；归母净利润8.20亿元，同比着落32.47%。

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5、晶方科技

晶方科技通过收购Anteryon公司，布局了光刻机相关业务，Anteryon是ASML（荷兰光刻机制造商）的中枢供应商之一，提供了晶圆级光学元件时候。这意味着晶方科技不仅在光刻机行业中具备中枢竞争力，况兼还通过其子公司参与了光刻机相关时候的研发和分娩，进一步强化了其在该领域的地位和影响力。

五、光刻机行业发展出路

1、国度战术支撑产业发展

中国政府抓续加大对半导体产业的支撑力度，推动国产光刻机的发展。国度出台了多项战术饱读动半导体产业的发展，包括提供财政支撑、税收优惠等。战术环境的优化为国产光刻机提供了有劲保险。

3、光刻机市集需求大

跟着新动力汽车、东谈主工智能、物联网等新兴产业的茁壮发展，对芯片的需求继续攀升，从而推动了光刻机市集的增长。此外，中国算作巨匠最大的半导体市集之一，对光刻机的需求尤为隆盛。跟着国内半导体产业的快速发展和国产替代战术的鼓舞，国产光刻机有望在市集上占据更大的份额。

3、时候改进推动行业发展

光刻机时候将陆续向更高精度、更高恶果的目的发展。同期，跟着多元化时候道路的出现和发展，光刻机时候有望结束更多的改进和突破。时候改进与突破将推动光刻机产业发展。

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